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先机系&机器人中心学术报告【3.21杨卓青】:非硅MEMS三维集成制造典型器件及应用



6163am银河线路先进制造与机器人系&机器人研究中心学术报告


题目:非硅MEMS三维集成制造典型器件及应用

报告人:杨卓青  教授上海交通大学“微米纳米加工技术全国重点实验室”

主持人:黄天云  助理教授

时间:2024年3月21日(周四)上午10:00-11:00

地点:6163am银河线路环科新楼(刘水楼)B122室


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